ข้อมูลจำเพาะ
- กล้องจุลทรรศน์ตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์ WXS-800 (Wafer Inspection Microscope) พร้อมระบบแสงสะท้อน (Reflected Light) ให้ประสิทธิภาพสูง ความน่าเชื่อถือสูง และใช้งานง่ายสำหรับการตรวจสอบข้อบกพร่องของเซมิคอนดักเตอร์
- รองรับวิธีการสังเกตแบบ Brightfield, Darkfield, Simple Polarization และ Differential Interference Contrast (DIC, อุปกรณ์เสริม)
- หัวกล้องแบบ Trinocular ปรับเอียงได้ (0°–30°) เพื่อความสะดวกสบายในการสังเกต
- WXS-800 ให้ภาพแบบหัวตั้ง (erect image) ซึ่งภาพที่เห็นในกล้องมีทิศทางเดียวกับตัวอย่างจริง (เช่น ซ้ายคือซ้าย บนคือบน) ช่วยให้:
- ตีความผลได้แม่นยำ
- นำทางภาพได้ง่าย
- ลดข้อผิดพลาด
- ช่วยให้การฝึกอบรมและการสื่อสารง่ายขึ้น
- คงความสม่ำเสมอในการถ่ายภาพและเอกสาร
- เลนส์ตาแบบมุมมองกว้างพิเศษ EW10X/25 มม.
- เลนส์ Infinity Plan Semi-Apochromatic 5x (NA 0.15), 10x (NA 0.3), 20x (NA 0.4), 50x (NA 0.8) และ 100x (NA 0.9) รองรับ Brightfield/Darkfield
- หัวเลนส์แบบ encoded sextuple nosepiece พร้อมช่อง DIC
- ระบบแสงประกอบด้วย Reflected Light Illuminator, คอนเดนเซอร์ (NA 0.65) พร้อม aperture diaphragm, ทูเรต 3 ตำแหน่ง (Brightfield, Brightfield+ND6, Darkfield), LED 5W พร้อมการจัดแสงแบบ Köhler และปรับความเข้มได้, ฟังก์ชันบันทึกความเข้มแสง (Light Intensity Memory – LIM), ช่องใส่ฟิลเตอร์ 2 ช่อง
- แท่นสไลด์แบบ Double Layer Mechanical Stage ขนาด 14” x 12” ระยะเคลื่อนที่ 210 x 210 มม. รองรับเวเฟอร์ 8 นิ้ว มี XY stage stalk และระบบ mechanical clutch สำหรับการปรับหยาบ
- ระบบโฟกัสแบบ coaxial ต่ำ ตำแหน่งหมุนสะดวก พร้อม limit การโฟกัส ระยะโฟกัส 33 มม. และความละเอียด fine focus 1 ไมครอน
- ฟิลเตอร์ที่ให้มา: น้ำเงิน เขียว เหลือง และ frosted
- อุปกรณ์เสริม: กล้องดิจิทัลและอะแดปเตอร์, DIC slider และปริซึม, Reticles, Stage micrometers
- แหล่งจ่ายไฟแบบสากล (90V–240V)
- น้ำหนักสินค้า 60 ปอนด์













